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販売履歴

お客様のご要望に応じて、各種装置の開発設計製作をお受けしております。
以下はこれまでの販売履歴（1979年～2008年4月）です。

マスク・レチクル・プロセス 販売台数合計 355 台

  • レチクルハイグレードクリーナー
  • マスク・ブランククリーニングシステム
  • マスク両面スクラバ
  • マスク・アイプレシャスクラバ
  • UVクリーナー
  • AZ/EB現像装置
  • レジスト剥離装置
  • エッチング装置
  • ケミカルステーション
  • IPAベーパ乾燥装置
  • スピンドライヤー
  • ペリクルステッカ

ウエハプロセス 販売台数合計 60 台

  • 片面エッチング装置
  • Differential Spin Etching Equipment
  • ポストCMPクリーナー
  • IPAベーパ乾燥装置
  • キャリア洗浄装置

LCDプロセス 販売台数合計 130 台

  • 大型マスク V-クリーニング装置
  • 大型ガラス V-クリーニング装置
  • 大型マスク スピン-クリーニング装置
  • 大型ガラス スピン-クリーニング装置
  • 大型両面 V-スクラバー
  • エッチング装置
  • 剥離装置

ディスクプロセス 販売台数合計 50 台

  • ディスク 4面スクラバ
  • ディスクスクラバ - 1200P
  • アルミディスククリーニングシステム
  • ガラスディスククリーニングシステム

その他 販売台数合計 181 台

  • 温純水ユニット
  • 機能水供給ユニット（炭酸水・オゾン水・水素水）
  • 薬液自動供給ユニット
  • 薬液自動廃液ユニット
  • ドラフトチャンバー
  • ロード・アンロードユニット
  • ロボット搬送システム
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