トップ > 製品情報（ハードディスクプロセス）

ハードディスクプロセス

洗浄装置

メディア・ディスク・クリーナ（CDC-）

本装置は、未処理のディスク（ケース）をローダにセットすると、トラバーサによりケースから取り出し処理部へロードします。
各処理部は、洗剤槽、枚葉両面スクラブ、シャワリンス、薬液槽、メガソニックリンス、IPAベーパ乾燥で構成されます。

処理は、バッチ-枚葉-バッチ処理です。処理後は、アンローダに収納し、カセットからディスクをアンロードします。

スループットは、複数枚同時スクラブ処理を行い1200PPHを達成しております。（2列処理は、2000PPH）
薬液は、温調、循環ろ過されます。
Dip処理は、石英槽の超音波間接照射によりクリーンな処理を行います。
超音波、メガソニックの組合せの最適化を図りました。
各プロセスをモジュール化し、将来のプロセス変更に対応可能な構造です。

サブストレート・ディスク・クリーナ（CDC-）

本装置は、未処理のディスク（ケース）をローダにセットすると、トラバーサによりケースから取り出し処理部へロードします。
各処理部は、洗剤槽、枚葉両面スクラブ、シャワリンス、薬液槽、メガソニックリンス、デファレンシャル乾燥で構成されます。
処理は、バッチ処理（カセットレス）-枚葉スクラブ-バッチ処理（装置内カセット）です。処理後は、アンローダのケースに収納します。

スループットは、複数枚同時スクラブ処理を行い1200PPHを達成しております。（2列処理は、2000PPH）
薬液は、温調、循環ろ過されます。
スクラブ洗浄後のDip処理は、石英槽の超音波間接照射によりクリーンな処理を行います。
超音波、メガソニックの組合せの最適化を図りました。
各プロセスをモジュール化し、将来のプロセス変更に対応可能な構造です。

ディスク・スクラバ（CDS-）