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FPDプロセス
洗浄装置
- 大型マスク洗浄装置（CLMC-）
- 大型ブランクス洗浄装置（CLMC-）
本装置は、アシストハンドなどでマスクがロード・ポイントにセットされると、トラバーサにより処理部へロードします。
各処理は、薬液（酸）槽、スクラブ、純水リンス、SC-1槽、純水リンス槽、温水引上げ乾燥を行います。
処理は、バーチカル枚葉処理です。処理後は、アンローダに収納しアシストハンドなどでアンロードます。
- マスク両面の確実な処理を行います。
- 薬液は、温調、循環ろ過されます。
- コンパクトな構造でフットプリントは、最小です。
剥離装置
本装置は、アシストハンドなどでマスクがロード・ポイントにセットされると、トラバーサにより処理部へロードします。
各処理は、剥離槽、純水リンス、SC-1槽、純水リンス槽、温水引上げ乾燥を行います。
処理は、バーチカル枚葉処理です。処理後は、アンローダに収納しアシストハンドなどでアンロードます。
- マスク両面の確実な処理を行います。
- 薬液は、温調、循環ろ過されます。
- コンパクトな構造でフットプリントは、最小です。
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