ドライプロセス

• フォトマスク・レチクルプロセス装置
• ハードディスクプロセス装置
• ウェハプロセス装置
• FPDプロセス装置
• プリント基板プロセス装置

洗浄、コーター、エッチャー、成膜工程などで基板表面の濡れ性改善、有機分解により、プロセス性能を向上させる表面改質装置です。